Optical inspection system for 100-200mm

LOT-0001

Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

Pour ses activités de recherche et le développement de ses partenariats, CEA LETI souhaite acquérir un système d’inspection optique dédié aux wafers non structurés, capable d’inspecter des diamètres de 100 mm, 150 mm et 200 avec une sensibilité avancée. Le système sélectionné devra être en mesure d’inspecter des substrats de différents matériaux et épaisseurs. Le marché comporte une option avec chiffrage obligatoire : - Option n°1 : Une année de garantie supplémentaire, portant la garantie totale à deux ans Le marché comporte des options avec chiffrage facultatif : - Option n°2 : fourniture d’un transformateur électrique (article 4.1.4 du cahier des charges) - Option n°3 : formation à la maintenance de premier niveau pour le système d’inspection, - Option n°4 : formation à la maintenance avancée pour le système d’inspection,