Etching Bench for III-V Materials

LOT-0001

Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement, une paillasse de chimie semiautomatique pour la gravure et le nettoyage de matériaux III-V sur des plaques de silicium, de phosphure d’indium (InP) ou d’arséniure de gallium (GaAs) de diamètres 100, 150, 200 et 300 mm pour la microélectronique. Cette paillasse remplace une paillasse déjà existante dans la salle blanche du LETI. Par conséquent, l’équipement proposé doit respecter les dimensions suivantes : o Longueur = 2500 mm o Profondeur = 1700 mm o Hauteur = 2100 mm Le marché comprend également les options à chiffrage facultatif suivantes* : o Option 1 : Echangeurs de températures et refroidisseurs (§3.2.6) ; o Option 2 : Transformateurs d’alimentation (§4.1.4) ; o Option 3 : Formation maintenance 1er niveau (§9) ; o Option 4 : Formation maintenance avancée (§9) ; o Option 5 : Extension de garantie d’un an supplémentaire (§11.1) ; o Option 6 : La mise à disposition d’un contact sec indiquant l’ouverture de la vanne du drain de vidange H2SO4 ou H2SO5 (§4.2.3) ; o Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).