Pre-industrial physical vapor deposition equipment for perovskite photovoltaic research

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Equipement préindustriel de dépôt physique en phase vapeur des précurseurs utilisés dans le domaine du photovoltaïque à base de couche active en pérovskite.

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Pour ses activités de recherche le CEA LITEN/INES (Bourget du Lac) souhaite acquérir un équipement préindustriel de dépôt physique en phase vapeur des précurseurs utilisés dans le domaine du photovoltaïque à base de couche active en pérovskite. L'objectif de l'équipement est de réaliser des films minces de pérovskite (PK) sur des plaquettes de silicium texturées G12 (210 × 210 mm²) à l'aide d'un procédé de dépôt reproductible, conforme et homogène. Le marché comporte les tranches suivantes : - Tranche ferme : Etudes en vue de la réalisation d’un équipement préindustriel destiné au dépôt physique en phase vapeur de précurseurs utilisés dans les absorbeurs à base de pérovskite pour la recherche photovoltaïque, - Tranche optionnelle : Réalisation et fourniture dudit Equipement. Le présent marché comporte les options suivantes* : - Option facultative n°1 : Espace de stockage pour les portes-substrats (plateaux de transport de substrats entre les différentes chambres de l’équipement) et les substrats - Option facultative n°2 : Acier inoxydable pour le module de dépôt en phase vapeur - Option facultative n° 3 : Possibilité de monitorer et de contrôler la température du substrat et/ou du carrier (plateau de transport du substrat) tout au long du processus – - Option facultative n°4 : Masque pour verre de 200 x 200 mm² et compatible avec des substrats en verre d'une épaisseur de 1100 ± 50µm - Option facultative n°5 : Le prix du transport en cas de levée de la tranche optionnelle, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020)