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ALD Equipment

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.·Jena, Germany·EUR 461.3k·Deadline Aug 04, 2026 · 25 days left·Open·Supplies
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Original notice title

Germany – Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) – ALD-Anlage

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SuppliesOpen
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Complexity

0 / 100

Deep Portfolio Analysis

Deep Company Fit Analysis

Uses:

  • Description
  • Industries & Services
  • Capabilities
  • Market & Experience
  • Certifications

Award Criteria

Lot 1

technische Spezifikationen — 70%

Buyer

Name

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.

Location

Jena, DEU

Identifier

DE151282932

Activity

Education

Lots (1)

LOT-0001

ALD-Anlage

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

SuppliesEU fundedElectronic submission

Location

Jena, Germany

Duration

Aug 2026 - Sep 2027

Category

Laboratory, optical and precision equipments

Selection criteria

Quality

Procurement Details

Publication date
07 lip 2026
Notice type
Contract notice — standard
Languages
German

Reference metadata

Notice subtype
16
Notice version
1
Legal basis
32014L0024

Reference IDs

Tender ID
469404-2026

Documents (2)

Procurement document 1Submission portal 1

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